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大容量・大面積プラズマを均一に生成できます。

「低インダクタンスアンテナ」の主な特徴は、

①高い成長・反応速度-誘導結合型プラズマ(ICP)モードによる高密度プラズマの利用
②プラズマダメージが少ない-低インダクタンスアンテナの採用により、アンテナ電位が低く、プラズマによるダメージが少なくなる
③大面積化が容易-マルチアンテナ構造の採用により BMW Mini Cooper R50/R52/R53 クロームメッキドアミラーカバー/ミニクーパー/サイドミラーカバー/左ハンドル 送料無料【___OCS】 DUNLOP ダンロップ LEMANS 4 ルマン4 LM704 サマータイヤ 225/60R16 MLJ エクストリームJ ミルド センターキャップ付き ホイールセット 4本 16インチ 16 X 7 +35 5穴 114.3 【送料無料】 225/50R17 17インチ TOPY トピー セレブロ LF5 7J 7.00-17 DUNLOP ダンロップ エナセーブ RV504 SALE サマータイヤ ホイール4本セット【DUsum18】、

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、大面積化を容易に実現できる
④高いガス利用率-高密度プラズマにより、ガスの利用効率が向上

などが挙げられます。太陽電池のエネルギー効率を大幅に高められるほか、エレクトロニクス製品の軽量化や高機能化、大画面テレビの製造コストダウンなど、多岐にわたる応用が期待されています。

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、次世代産業に向けた研究・開発を行っています。

株式会社イー・エム・ディー
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