【品質重視】 HIDキット 55W超薄型 H3 12V/24V 交流式デジタルバラスト&最高級バーナー


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MONTHLY, No.06, Vol.20, 商品性向上

55W超薄型 H3 55W超薄型 HIDキット 【品質重視】 交流式デジタルバラスト&最高級バーナー 12V/24V HIDキット

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XPS測定技術の中に、イオンスパッタを併用した深さ方向分析があります。これは、スパッタと測定の繰り返しにより、材料内部(~0.5μm)の元素組成、結合状態を評価する技術です。試料が薄膜であれば、その膜厚を評価でき、付着層の厚さを議論するうえでも有用です。ただ、前号で述べたように、従来のスパッタ技術で用いられるアルゴンイオンは、高分子などソフトな材料では損傷を引き起こすことがあり、これは材料分析の観点では看過できない問題でした。

図1 ポリ乳酸材料の炭素 (C1s)XPS スペクトル

図1に、医療分野等で用いられる透明性の高い高分子材料 19インチ サマータイヤ セット【適応車種:クラウンマジェスタ(180系 全グレード)】WEDS レオニス グレイラ アルファ BMCミラーカット 8.0Jx19ヨコハマ エコス ES300 245/35R19、ポリ乳酸(PLA)試料のXPS深さ方向分析結果を示します。従来のアルゴン(Ar)イオンスパッタにより得られた結果と、新規の有機クラスター”コロネン”イオンにより得られた、炭素(C1s)の状態分析結果です。Arスパッタでは、スパッタ毎にポリ乳酸の骨格構造であるカルボキシル基(O-C=O)とエーテル結合(-C-O-)由来のピーク強度が低下しており、

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、スパッタに伴う有機構造の損傷が明らかです。一方、コロネンイオンスパッタでは、ピーク強度に変化はなく、低損傷スパッタ法であることが確認されます。

図2 表面汚染されたフッ素樹脂試料 (PTFE)

次に、図2に示すような表面汚染されたフッ素樹脂試料(PTFE)について、コロネンイオンスパッタを用いた炭素(C1s)の状態分析結果(図3a)と タナベ サスペンション NF210 ダウンサス 1台分 キューブキュービック DBA-YGNZ11 07/1~ 後期 4WD NA 送料無料、深さ方向への成分分布(図3b)を示します。

図3 汚染 PTFE の XPS による深さ方向分析結果

(コロネンスパッタ)

得られた結果は、-(CF2)n-の構造を保ちつつ 『63番のみ』 モード5用 ワイヤー パワーウィンドサブ 36756-57EH0 FIG366c スズキ純正部品、汚染物質の主成分である-(CH2)n-量の減少を示しています。

今回事例としたフッ素樹脂は、太陽電池のバックシートなどに用いられる比較的耐候性の高い材料ですが、その表面の僅かな汚染状況の確認に、低損傷のイオンスパッタ深さ方向分析が有効です。また、異種材の接合界面における剥離原因の解析などにも役立ちます。

次号では、XPS装置による化学結合状態の評価において、

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、照射X線のエネルギー変化によって得られる新たな知見について紹介させていただきます。

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